製程用水 用於ETO滅菌設備
ETO滅菌設備所使用的加濕水應無污染物，不應削弱ETO滅菌過程，且不應損壞滅菌器、滅菌產品或負載。加濕應透過注入蒸氣來完成，不能直接注入霧化水。
筆記：建議使用符合中國藥典要求的純淨水進行加濕。如果不使用純化水，應對蒸汽供應或蒸汽冷凝水進行驗證，以確保加濕蒸汽符合本部分的要求。 YY/T 1612和中國藥典規定了蒸汽品質檢測方法。
蒸汽污染物限值
| 污染物 | 凝結水 | 蒸氣供應 |
|---|---|---|
| 殘留物 | 小於10毫克/公斤 | 小於100mg/L |
| 重金屬 | 不超過中國藥典純化水限量 | 不超過中國藥典純化水限量 |
| 氯化物 | 小於1毫克/公斤 | 小於10毫克/公升 |
| 電導率 | 小於15μS/cm | 小於50μS/cm |
| 酸鹼度 | 5–8.5 | 5–8.5 |
| 外貌 | 無色 | 無色 |
註1：如果給水或蒸氣中的污染物含量超過上述限值，滅菌器的使用壽命將會顯著縮短。
工藝空氣 用於滅菌
滅菌器使用的空氣應經過乾燥和過濾，以確保ETO滅菌器終端過濾器的使用壽命和過濾性能。
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