在 ETO 滅菌機 OQ 期間，需要識別和證實以下事件。
在OQ中，應確定相關輔助系統的性能，並透過模擬故障情況對軟體系統進行測試。
對於預處理室、滅菌室和曝氣室，應確定滅菌負荷佔用的整個室的空氣循環模式和通風能力。這可以透過煙霧測試結合換氣率計算和風速測定來執行。
應在足夠長的時間內監測整個預處理區域的溫度和濕度，以證明數值保持在所需的範圍內。應確定分佈在整個預處理區域的多個位置的溫度和濕度；
應在足夠長的時間內監測整個加熱曝氣區域的溫度，以證明數值保持在所需的範圍內。應確定分佈在整個曝氣區域的多個位置的溫度；
滅菌器在OQ之前應進行洩漏測試以確保安全。 （在真空下進行低於大氣壓力循環或在真空和壓力下進行超大氣壓循環）
對於滅菌器，應完成室壁溫度研究，以驗證夾套加熱系統提供的足夠的溫度均勻性。研究應描述溫度曲線的特徵，以便定期進行比較，以確保系統持續有效運作。
應進行重複循環（至少三次），以證明控制和操作效果的再現性；注入的 EO 氣體溫度應在揮發器規格範圍內或高於 EO 沸點（大氣壓力下 10.7°C）；
在空室 OQ 練習中，在 EO 或惰性氣體暴露期間可用室體積內記錄的溫度範圍為
平衡期後應獲得每個時間點所記錄的平均室溫度的±3℃。使用負載室進行 OQ 練習時，±3？寬容可能無法實現。
年度OQ
OQ 審查應包括對當年進行的設備性能和工程變更的評估，以確保原始 OQ 的結果仍然有效。為此，通常的做法是定期對設備進行重新鑑定，並應包括：
- 設備IQ狀態審核；
- 評估設備性能趨勢；
- 預處理區域的溫度和濕度分佈；
- 室溫度曲線；
e.曝氣室的溫度曲線；
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